等离子废气处理设备又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有其相似的地方。
等离子废气处理设备工作原理：
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，这就是等离子废气处理设备的工作原理。
设备反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场+电子→高能电子；
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团；
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热；
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热；
等离子废气处理设备产品特点：
1、等离子废气处理设备采用了独特的吸附-分解-碳化离心式抽风安装工艺技术设计，采用标准模块设计等优点，是一种干法处理有机废气的净化设备。
2、等离子废气处理设备改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，更换及维护保养方便。
3、等离子废气处理设备还具备了显著的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等微生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡。因此等离子废气处理设备除臭技术具有消毒杀菌之功效。
等离子废气净化器适用范围：
随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，设备可以运用在喷漆车间，油墨印刷，喷涂车间，化工，医药，橡胶，食品，印染，造纸，酿造等生产过程中产生的有毒有害废气、臭气。